线共焦3D测量传感器
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产品描述
参数
特点：毫米级量程，亚微米级精度。
典型应用：双头测厚，台阶高度。
| 型号 | 单位 | OP3 |
| 安装距离 | mm | 15 |
| 量程 | μm | ±600 |
| 最大倾角 | deg | ±29° |
| 光斑尺寸 | μm | 11 |
| 分辨率 | nm | 10(40) |
| 放大器型号 | Fc | |
| 精度 | ±0.02%F.S. | |
| 最小厚度测量 | μm | 22 |
| 最大厚度测量 | μm | 1694 |
| 长度 | mm | 176 |
| 重量 | kg | 0.4 |
| 直径 | mm | 27/32 |
关键词:
光谱共焦位移传感器
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