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超大角度/大工作距离光谱共焦位移传感器

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超大角度/大工作距离光谱共焦位移传感器

产品编号
产品描述
参数

超大角度颠覆了传感的光谱共焦位移传感器角度特性小的特点。

可以实现3D曲面玻璃的扫描及外螺纹轮廓的扫描等。

 

 
测头型号 Pro4-Fc Pro5-Fc
角度 ±60° ±25°
量程(μm) ±2000 ±5000
工作距离(mm) 19.5起始 64起始
光斑大小(μm) 15 90
分辨率(nm) 40 300
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