线共焦3D测量传感器
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产品描述
参数
光谱共焦技术测量原理
利用波长信息测量距离
由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。
规格/测头
| CDS-500 | OP1 | OP2 | OP3 | OP4 | OP4L | OP5 | OP6 | Pro4 | Pro5 | |||
| 安装距离 | mm | 8 | 11 | 15 | 24 | 29 | 37 | 204 | 24 | 67 | ||
| 量程 | μm | ±55 | ±190 | ±600 | ±1850 | ±2000 | ±5500 | ±5000 | ±2000 | ±5000 | ||
| 最大倾角 | deg | ±45° | ±28° | ±29° | ±21° | ±19° | ±14° | ±7.5° | ±45° | ±16.5° | ||
| 放大器型号 | Fc | Fc | Fc | Fe | Fd | Fd | Fe | Fd | Fc | Fc | Fd | |
| 光斑尺寸 | μm | 2 | 10 | 11 | 20 | 12 | 22 | 40 | 24 | 36 | 15 | 45 |
| 位移测量 | ||||||||||||
| 分辨率 | nm | 2(8) | 5(20) | 10(40) | 20(80) | 20(80) | 24(94) | 150(600) | 150(600) | 500(1000) | 20(80) | 150(600) |
| 精度 | ±0.02%F.S.（F.S.=量程） | |||||||||||
| 厚度测量 | ||||||||||||
| 最小厚度测量 | μm | 5 | 12 | 22 | 66 | 66 | 78 | 192 | 192 | 200 | 66 | 192 |
| 最大厚度测量 | μm | 100 | 511 | 1694 | 5500 | 5500 | 5998 | 17078 | 17078 | 16500 | 5665 | 13514 |
| 长度 | mm | 208 | 176 | 176 | 130.5 | 145.5 | 145.5 | 130.5 | 145.5 | 180 | 261 | 241 |
| 重量 | kg | 0.49 | 0.30 | 0.40 | 0.23 | 0.25 | 0.25 | 0.25 | 0.25 | 0.6 | 1.62 | 1.38 |
| 直径 | mm | 27/40 | 27 | 27/32 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27/65 | 27/93.4 | 27/56 |
规格/控制器
| 型号 | CDS-500 |
| 采样频率 | 200 to 4500 points/sec 用户可定义 |
| 光源 | 蓝色激光 |
| 测量模式 | 位移/厚度 |
| 通讯控制 | 以太网 |
| 编码器 | 增量式（A/B项） |
| 同步I/O | 1 Trigger input(TTL)5V |
| 光纤连接器 | FC/APC |
| 兼容性 | 兼容所有型号测头 |
| 电源/功耗 | 24V DC 3A |
| 工作温度 | 5℃-40℃ |
| 放置温度 | -30℃-70℃ |
| 相对湿度 | 5%-80%无冷凝 |
| 防护等级 | IP 40 |
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