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 激光显微镜与光谱共焦测量粗糙度对比

激光显微镜与光谱共焦测量粗糙度对比

THINKFOCUS光谱共焦轮廓仪与激光共聚焦显微镜在测量100纳米以上量级时，可以达到同样的测量效果。但是显微镜存在视野小的弊端。而光谱共焦位移传感器的测量范围可以达到100*100mm。以下是激光共聚焦显微镜与光谱共焦三维轮廓仪测量结果的比对。

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